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AOI检测系统的通用架构,该系统由光源,相机阵列、显微复检、集群并行处理系统、控制系统、主控计算机、服务器组成,以及与工厂数据中心互联的工业局域网组成。该系统架构具有大幅面表面缺陷低分辨率快速检出和高分辨率显微复检两种功能。从图中可以看出,完整的AOI系统不仅集成了照明与光学成像单元,还需要有被测件支撑传输单元、精密运动机构与控制单元、高速并行图像处理单元等。

自动光学检测(automated optical inspection, AOI)技术,也称为机器视觉检测(machine vision inspection, MVI)技术或自动视觉检测(automated visual inspection, AVI)技术。在有些行业,如平板显示、半导体、太阳能等制造行业,AOI这一术语更加流行,被人知晓。但是AOI和MVI/AVI在概念和功能上还是有细微差别的。
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线阵相机是逐行扫描方式取像,面阵相机的优点是图像的还原性较好,打光角度容易调整,还容易得到较清晰的图像,因而市面上的AOI自动光学检测仪绝大多数厂商使用这类相机。线阵相机的图像还原性较差,打光的角度难以调整,是目前误判率高的AOI自动光学检测仪,采用这类相机的AOI自动光学检测仪的唯①优点是检测的速度相对快一点,全自动光学检测,但检测小板时它的检测速度又要相对而言慢一些,因此,对相机的选择应该尽量选择面阵相机。
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